高纯多晶硅(图)
  发布日期:2010-01-11

    上海航天技术研究院所属内蒙古神舟硅业有限责任公司作为专业从事多晶硅及下游产品,以及副产品研发、制造和销售的高新技术企业,采用改良西门子法工艺技术,主要生产电子级高纯多晶硅(纯度在9N以上)和太阳能级高纯多晶硅(纯度在6N左右)。改良西门子法(即闭环式三氯氢硅氢还原法)是目前生产多晶硅所采用的首选工艺。该工艺首先将氯和氢合成氯化氢,再将氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅,然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯,并将提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进CVD反应,最终制成高纯多晶硅。该公司的电子级多晶硅年产能力约为3600吨,主要应用于微电子、集成电路、雷达TR器件等电子元器件及半导体产业;太阳能级多晶硅年产能力约为900吨,主要应用于光伏产业的太阳能电池。


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